Out-of-plane Motion Microactuator Made of Thin Film Metallic Glass

書誌事項

タイトル
Out-of-plane Motion Microactuator Made of Thin Film Metallic Glass
著者
Seiichi Hata, Takashi Fukushige, Hiroyuki Tachikawa, Akira, Shimokohbe

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詳細情報

  • CRID
    1010282256778087690
  • 資料種別
    journal article
  • データソース種別
    • KAKEN

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