UV Induced Refractive Index Change of SiN Film and Its Application to Center Wavelangth Trimming of Vertically

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タイトル
UV Induced Refractive Index Change of SiN Film and Its Application to Center Wavelangth Trimming of Vertically
著者
Toshiki Naganawa, Hirofumi Haeiwa, Yasuo Kokubun

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詳細情報

  • CRID
    1010282256851322261
  • 資料種別
    journal article
  • データソース種別
    • KAKEN

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