The flux control of ion incident upon the substrate in oxygen plasma for ZnO film synthesis based on mass-selective momentum control

書誌事項

タイトル
The flux control of ion incident upon the substrate in oxygen plasma for ZnO film synthesis based on mass-selective momentum control
著者
N. Y. Sato, K. Kinoshita, Y. Nakano, T. Lkehata, S. Yamauchi and J. Oonuki

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詳細情報

  • CRID
    1010282256852030470
  • 資料種別
    journal article
  • データソース種別
    • KAKEN

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