Reactive sputter deposition of AlInN thin films
書誌事項
- タイトル
- Reactive sputter deposition of AlInN thin films
- 著者
- Q.X.Guo, Y.Okazaki, Y.Kume, T.Tanaka, M.Nishio, H.Ogawa
収録刊行物
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- Journal of Crystal Growth 300
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Journal of Crystal Growth 300 151-154, 2007