【4/18更新】CiNii ArticlesのCiNii Researchへの統合について

Reactive sputter deposition of AlInN thin films

書誌事項

タイトル
Reactive sputter deposition of AlInN thin films
著者
Q.X.Guo, Y.Okazaki, Y.Kume, T.Tanaka, M.Nishio, H.Ogawa

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詳細情報

  • CRID
    1010282256858939525
  • 資料種別
    journal article
  • データソース種別
    • KAKEN

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