光電気化学反応を利用した窒化物半導体の低損傷エッチングと電子デバイスへの応用
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- 佐藤 威友
- 北海道大学
書誌事項
- タイトル
- 光電気化学反応を利用した窒化物半導体の低損傷エッチングと電子デバイスへの応用
- 著者
- 植村圭佑，松本悟，渡久地政周，伊藤圭亮，佐藤 威友
- 公開日
- 2017
- 資源種別
- journal article
収録刊行物
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- 電子情報通信学会技術研究報告
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電子情報通信学会技術研究報告 117 23-26, 2017
