Surface modification of silicon with sinerle ion irradiation
書誌事項
- タイトル
- Surface modification of silicon with sinerle ion irradiation
- 著者
- I.Ohdomari, T.Kamioka
収録刊行物
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- Appl. Surf. Sci. (submitted)
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Appl. Surf. Sci. (submitted)
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詳細情報
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- CRID
- 1010282256967532420
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- 資料種別
- journal article
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- データソース種別
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- KAKEN