著者名,論文名,雑誌名,ISSN,出版者名,出版日付,巻,号,ページ,URL,URL(DOI)
深田 茂生,弾性案内を用いた超精密平面位置決め機構の動特性と制御,2008年度精密工学会北陸信越支部学術講演会講演論文集,,,2008,,,99-100,https://cir.nii.ac.jp/crid/1010282257021609220,