弾性案内を用いた超精密平面位置決め機構の動特性と制御
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- 深田 茂生
- 信州大学
書誌事項
- タイトル
- 弾性案内を用いた超精密平面位置決め機構の動特性と制御
- 著者
- 松田智明, 深田茂生, 西村建太郎
収録刊行物
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- 2008年度精密工学会北陸信越支部学術講演会講演論文集
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2008年度精密工学会北陸信越支部学術講演会講演論文集 99-100, 2008