Large-area growth of in-plane oriented (11-20) ZnO films by linear cathode magnetron sputtering
書誌事項
- タイトル
- Large-area growth of in-plane oriented (11-20) ZnO films by linear cathode magnetron sputtering
- 著者
- T.Kawamoto, T.Yanagitani, M.Matsukawa, Y.Watanabe, Y.Mori, S.Sasaki, M.Oba
収録刊行物
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- Jpn.J.Appl.Phys.
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Jpn.J.Appl.Phys. 2010
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詳細情報
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- CRID
- 1010282257071989252
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- 資料種別
- journal article
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- データソース種別
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- KAKEN