Large-area growth of in-plane oriented (11-20) ZnO films by linear cathode magnetron sputtering

書誌事項

タイトル
Large-area growth of in-plane oriented (11-20) ZnO films by linear cathode magnetron sputtering
著者
T.Kawamoto, T.Yanagitani, M.Matsukawa, Y.Watanabe, Y.Mori, S.Sasaki, M.Oba

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詳細情報

  • CRID
    1010282257071989252
  • 資料種別
    journal article
  • データソース種別
    • KAKEN

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