Fabrication of Amorphous Silicon Carbide Films from Decomposition of Tetramethylsilane using ECR plasma of Ar

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タイトル
Fabrication of Amorphous Silicon Carbide Films from Decomposition of Tetramethylsilane using ECR plasma of Ar
著者
H. Ito, S. Onitsuka, R. Gappa, H. Saitoh, R. Roacho, K. H. Pannell, T. Suzuki, M. Niibe,and K. Kanda

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