【4/18更新】CiNii ArticlesのCiNii Researchへの統合について

Fabrication of Amorphous Silicon Carbide Films from Decomposition of Tetramethylsilane using ECR plasma of Ar

書誌事項

タイトル
Fabrication of Amorphous Silicon Carbide Films from Decomposition of Tetramethylsilane using ECR plasma of Ar
著者
H. Ito, S. Onitsuka, R. Gappa, H. Saitoh, R. Roacho, K. H. Pannell, T. Suzuki, M. Niibe,and K. Kanda

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