Deposition of Thin Film Using a Surface Acoustic Wave Device
書誌事項
- タイトル
- Deposition of Thin Film Using a Surface Acoustic Wave Device
- 著者
- N.Murochi, et. al.
収録刊行物
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- Jpn.J.Appl.Phys. 46
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Jpn.J.Appl.Phys. 46 4754-4759, 2007