著者名,論文名,雑誌名,ISSN,出版者名,出版日付,巻,号,ページ,URL,URL(DOI) 佐藤 哲也,低速電子誘起反応とトンネル反応を利用したシリコン半導体薄膜の極低温合成,山梨大学機器分析センター年報 vol.5,,,2006,,,11-18,https://cir.nii.ac.jp/crid/1010282257428895360,