Porosity Control of Nano-particle Composite Porous Low Dielectric Films using Pulse RF Discharges with Amplitude Modulation

書誌事項

タイトル
Porosity Control of Nano-particle Composite Porous Low Dielectric Films using Pulse RF Discharges with Amplitude Modulation
著者
Shinya Iwashita, Hiroshi Miyata, Kazunori Koga, Hidefumi Matsuzaki, Masaharu Shiratani, Morita Akiyama

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詳細情報

  • CRID
    1010282257430724608
  • 資料種別
    journal article
  • データソース種別
    • KAKEN

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