A micro thermal switch with a stiffness-enhanced thermal isolation structure
書誌事項
- タイトル
- A micro thermal switch with a stiffness-enhanced thermal isolation structure
- 著者
- T.Tsukamoto, M.Esashi, S.Tanaka
収録刊行物
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- J.Micromech.Microeng.
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J.Micromech.Microeng. 21 104008-, 2011
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詳細情報
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- CRID
- 1010282257459219072
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- 資料種別
- journal article
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- データソース種別
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- KAKEN