A micro thermal switch with a stiffness-enhanced thermal isolation structure

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タイトル
A micro thermal switch with a stiffness-enhanced thermal isolation structure
著者
T.Tsukamoto, M.Esashi, S.Tanaka

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詳細情報

  • CRID
    1010282257459219072
  • 資料種別
    journal article
  • データソース種別
    • KAKEN

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