著者名,論文名,雑誌名,ISSN,出版者名,出版日付,巻,号,ページ,URL,URL(DOI)
小貫 哲平 and 尾嶌 裕隆 and 清水 淳 and 周 立波,"顕微ラマン断層イメージングによるワイドバンドギャップ半導体ウエハ加工変質層観測,",砥粒加工学会誌,,,2024,68,,202-207,https://cir.nii.ac.jp/crid/1010302693962237312,