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藤山 寛,「マイクロ・ナノプラズマ技術とその産業応用」第4章 低圧環境下でのマイクロプラズマの生成と製膜への応用,,シーエムシー出版,2006,,,,,https://cir.nii.ac.jp/crid/1020000781874289024