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天野 浩,高周波半導体材料・デバイスの新展開、監修:佐野芳明、奥村次徳、第2章 III族窒化物半導体のMOVPE技術、pp.80-86,,シーエムシー出版,2006,,,,,https://cir.nii.ac.jp/crid/1020000781977677952