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越田 信義,異種機能デバイス集積化技術の基礎と応用（監修：益一哉・年吉洋・町田克之）、第７章「ナノポーラスシリコンとそのデバイス」,,シーエムシー出版,2012,,,,,https://cir.nii.ac.jp/crid/1020282257170419328