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脇谷 尚樹 and 鈴木 久男 and 篠崎 和夫,セラミックス製造プロセス、応用技術大全集:スパッタリング法による圧電薄膜の作製と評価,,技術情報協会,2007,,,,,https://cir.nii.ac.jp/crid/1020282257442986497