タイトル,研究代表者,研究機関,資金配分機関情報,研究期間 (年度),助成事業,URL
放電手法制御によるプラズマプロセス精密制御機構の解明とその応用,鎌滝 晋礼,九州大学,日本学術振興会(JSPS),2023-04-01 - 2026-03-31,科学研究費助成事業,https://cir.nii.ac.jp/crid/1040014327094895104