タイトル,研究代表者,研究機関,資金配分機関情報,研究期間 (年度),助成事業,URL
レジスト塗布時に発生する膜厚ムラの形成機構モデル化および抑制指針の獲得,白鳥 英,東京都市大学,日本学術振興会(JSPS),2017-08-25 - 2019-03-31,科学研究費助成事業,https://cir.nii.ac.jp/crid/1040282256936961280