Description
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学術論文 (Article)
科研費報告書収録論文(課題番号:13305010・基盤研究(A)(2) ・H13~H15/研究代表者:江刺, 正喜/ナノメートルの精度で動く分布型マイクロ・ナノマシン)
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Journal
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- 17th IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems, 2004 (MEMS)
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17th IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems, 2004 (MEMS) 430-433, 2004
Institute of Electrical and Electronics Engineers
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Details 詳細情報について
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- CRID
- 1050001202732948224
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- HANDLE
- 10097/48056
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- Text Lang
- en
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- Article Type
- journal article
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- Data Source
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- IRDB