圧電素子を利用した位置決め装置の設計と簡易的補正方法の検討

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  • Design and Evaluation of positioning device using a piezoelectric actuator
  • アツデン ソシ オ リヨウ シタ イチギメ ソウチ ノ セッケイ ト カンイテキ ホセイ ホウホウ ノ ケントウ

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KJ00010284019

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