著者名,論文名,雑誌名,ISSN,出版者名,出版日付,巻,号,ページ,URL,URL(DOI)
"真辺, 航 and 大村, 一郎 and 附田, 正則",µ-PCD法によるエピタキシャルウェーハ評価の精度に関する検討,"電気学会研究会資料. EDD, 電子デバイス研究会",,一般社団法人電気学会,2017-11-20,2017,,7-11,https://cir.nii.ac.jp/crid/1050011097181826944,