著者名,論文名,雑誌名,ISSN,出版者名,出版日付,巻,号,ページ,URL,URL(DOI)
"福田, 永 and 田中, 茂雄 and 渡邊, 幹夫 and 佐藤, 孝紀 and 古川, 雅一",表面波励起プラズマによる中性水素原子生成とレジストアッシングへの応用,室蘭工業大学紀要,13442708,室蘭工業大学,2004-11,54,,29-35,https://cir.nii.ac.jp/crid/1050282676663930496,