著者名,論文名,雑誌名,ISSN,出版者名,出版日付,巻,号,ページ,URL,URL(DOI) "高野, 登 and 大山, 達雄 and 芦田, 極 and 谷口, 淳 and 宮本, 岩男 and 川堰, 宣隆 and 森田, 昇 and 山田, 茂","ナノスケール機械加工と化学エッチングを併用した3次元極微細構造形成 : 第3報,エッチング加速作用のFIB照射条件依存性と3次元微細構造形成への応用(機械要素,潤滑,工作,生産管理など)",日本機械学會論文集. C編 = Transactions of the Japan Society of Mechanical Engineers. C,03875024,社団法人日本機械学会,2005-05,71,705,1754-1759,https://cir.nii.ac.jp/crid/1050564289054690688,