静電気分布の可視化測定の一方法

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  • セイデンキ　ブンプ　ノ　カシカ　ソクテイ　ノ　イチホウホウ
  • A measurement method for visualization of static electricity distribution

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静電気放電（ESD）によるディジタル電子機器の障害発生件数は，半導体素子の高集積・低電力化と相まって急増の傾向にある．ESDを引き起こす静電気を視覚情報として実時間で認識・追跡できればESDの有効な事前対策が施せるであろうとの筆者らの着想から，元来，不可視量であった静電気分布を実時間で測定し得る方法を考えた．本論文で提案する測定原理は帯電体に近接配置した方形小電極に誘導される電位がその直下の帯電量に比例することに基礎を置く．同原理に基づく装置を製作して帯電体の静電気分布の可視化ならびに追跡を実際に試みた．その結果，方形小電極を格子状配列した測定電極に誘導される有限個の電位データから電極直下の帯電分布の可視化像が得られることを確認でき，更には同装置でアクリル板の2 次元的な帯電様相を明らかにすることもできた．

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