著者名,書名,版表示,出版者名,出版年,シリーズ名,番号,ISBN,ISSN,URL "羽多野, 忠",速度可変シャッターを用いた軟X線多層膜の精密膜厚分布制御と非球面形状創成への応用,,[羽多野忠],2005,科学研究費補助金基盤研究(C)(2)研究成果報告書,,,,https://cir.nii.ac.jp/crid/1130000793821014528