著者名,書名,版表示,出版者名,出版年,シリーズ名,番号,ISBN,ISSN,URL "河東田, 隆 and 菅野, 卓雄 and 奥村, 次徳",半導体評価技術,,産業図書,1989,集積回路プロセス技術シリーズ,,478285627X,,https://cir.nii.ac.jp/crid/1130000793888648320