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"新津, 靖",反射型偏光レーザ顕微鏡の開発とウエハ上高分子皮膜の応力評価,,[東京電機大学],2002,科学研究費補助金(基盤研究(B)(2))研究成果報告書,,,,https://cir.nii.ac.jp/crid/1130000793935038848