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"遠藤, 哲郎",3次元MOSデバイスを用いた超高性能3次元集積回路に関する研究,,[遠藤哲郎],2000,科学研究費補助金(基盤研究(B)(2))研究成果報告書,,,,https://cir.nii.ac.jp/crid/1130000794006013056