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"酒井, 洋輔",機器導体部のプラズマCVD絶縁膜 (CxFy高分子) によるSF[6]ガス代替絶縁,,[北海道大学大学院工学研究科],2005,科学研究費補助金(基盤研究(B)(2))研究成果報告書,,,,https://cir.nii.ac.jp/crid/1130000794084620928