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"塚田, 隆夫",化学的機械研磨(CMP)プロセスにおける研磨粒子凝集体の圧縮・ずり変形挙動の解明,,[塚田隆夫],2005,科学研究費補助金(基盤研究(B)(2))研究成果報告書,,,,https://cir.nii.ac.jp/crid/1130000794150639104