著者名,書名,版表示,出版者名,出版年,シリーズ名,番号,ISBN,ISSN,URL VDI/VDE-Gesellschaft Feinwerktechnik,"Maskentechnik für Mikroelektronik-Bausteine : Tagung München, 13. November 1986",,VDI Verlag,1986,VDI-Berichte,,3180906219,,https://cir.nii.ac.jp/crid/1130000794403328768