著者名,書名,版表示,出版者名,出版年,シリーズ名,番号,ISBN,ISSN,URL "酒井, 洋輔",低誘電率・高絶縁耐力プラズマ堆積a-C:F膜による機器絶縁の軽量化と耐電圧向上,,[北海道大学大学院情報科学研究科],2008,科学研究費補助金(基盤研究(B))研究成果報告書,,,,https://cir.nii.ac.jp/crid/1130000794437572352