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"節原, 裕一",超硬質窒化物合成のための高密度ヘリコン波プラズマ励起・超活性化成膜プロセスの開発,,節原裕一,2001,科学研究費補助金(基盤研究(B)(2))研究成果報告書,,,,https://cir.nii.ac.jp/crid/1130000794438499072