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"高, 偉",形状測定機能を持つナノ加工プローブによる大面積3次元微細計測基準面の高精度創成,,[高偉],2005,科学研究費補助金(基盤研究(B)(2))研究成果報告書,,,,https://cir.nii.ac.jp/crid/1130000794520167040