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"石田, 誠 and 松本, 佳宣 and 桜井, 止水城",二重SOI構造による高温度用加速度センサ,,石田誠,1996,科学研究費補助金(試験研究B(2))研究成果報告書,,,,https://cir.nii.ac.jp/crid/1130000794619605248