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"大見, 忠弘 and 平山, 昌樹",段階投資型半導体生産ラインを実現するプロセスガス解離完全制御プラズマプロセス技術,,[大見忠弘],2002,科学研究費補助金(基盤研究(A)(2))研究成果報告書,,,,https://cir.nii.ac.jp/crid/1130000794652952192