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"山内, 和人",イオン照射による薄膜用基板の表面制御 : 結晶性薄膜作製の低温プロセス化,,大阪大学工学部,1997,科学研究費補助金(基盤研究(B)(2))研究成果報告書,,,,https://cir.nii.ac.jp/crid/1130000794730988672