著者名,書名,版表示,出版者名,出版年,シリーズ名,番号,ISBN,ISSN,URL "Koyama, R. Y. and Buehler, M. G.",A wafer chuck for use between -196 and 350[0]C,,U.S. G.P.O.,1979,NBS special publication,,,,https://cir.nii.ac.jp/crid/1130000794834862976