著者名,書名,版表示,出版者名,出版年,シリーズ名,番号,ISBN,ISSN,URL "藤本, 公三",超微細接合のための高精度位置決め視覚とプロセスコントロールに関する研究,,大阪大学工学部,1997,科学研究費補助金(基盤研究(B)(2))研究成果報告書,,,,https://cir.nii.ac.jp/crid/1130000794894232704