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VDI-Gesellschaft Technische Gebäudeausrüstung,"Reinraumtechnik : ausgewählte Lösungen und Anwendungen : Tagung Bielefeld, 26. und 27. November 1991",,VDI Verlag,1992,VDI-Berichte,,3180909196,,https://cir.nii.ac.jp/crid/1130000794995960960