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"梅野, 正隆",X線表面散乱法を用いた極微パターン形状の定量的評価法の開発,,大阪大学工学部,1997,科学研究費補助金(基盤研究(A)(2))研究成果報告書,,,,https://cir.nii.ac.jp/crid/1130000795029042560