Author,Title,Edition,Publisher,Year,Series,Number,ISBN,ISSN,URL 東レリサーチセンター調査研究部門,MEMS・NEMSの最新動向 : マイクロマシンの基礎と応用,,東レリサーチセンター,2004,TRC R&D library,,,,https://cir.nii.ac.jp/crid/1130000795326944000