Author,Title,Edition,Publisher,Year,Series,Number,ISBN,ISSN,URL "井川, 直哉",光線基準によるテーブル直進運動精度のナノメータ計測と制御,,大阪大学工学部,1991,科学研究費補助金(試験研究B(2))研究成果報告書,,,,https://cir.nii.ac.jp/crid/1130000795512160896