著者名,書名,版表示,出版者名,出版年,シリーズ名,番号,ISBN,ISSN,URL "宅間, 宏 and 清水, 和子",原子描画装置の開発,,[電気通信大学],1998,科学研究費補助金(基盤研究A)研究成果報告書,,,,https://cir.nii.ac.jp/crid/1130000795690362752