著者名,書名,版表示,出版者名,出版年,シリーズ名,番号,ISBN,ISSN,URL "萩本, 英二",はじめての半導体後工程プロセス,,工業調査会,2009,ビギナーズブックス,,9784769312833,,https://cir.nii.ac.jp/crid/1130000795741386752