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"益, 一哉 and 年吉, 洋 and 町田, 克之","異種機能デバイス集積化技術の基礎と応用 : MEMS,NEMS,センサ,CMOSLSIの融合",普及版,シーエムシー出版,2019,CMCテクニカルライブラリー,,9784781313641,,https://cir.nii.ac.jp/crid/1130000795780806656